臭氧濃度檢測儀主要由紫外吸收池、紫外燈、光度檢測器、臭氧滌除器、采樣泵、流量控制器、流量計、溫度指示器、壓力指示器等組成。

　　一級紫外臭氧標準儀的吸收池要能通過254 nm波長的紫外光，通過吸收池的254 nm波長的紫外光至少要有99.5％被檢測器所檢測。吸收池的長度，不應大于已知長度的±0.5％。臭氧在氣路中的損失不能大于5％。一級紫外臭氧標準儀僅用于一級校準用。只能通入清潔、干燥、過濾過的氣體，而不可以直接采集環(huán)境空氣。只能放在干凈的的試驗室內，必須固定避免震動。可將空間臭氧濃度檢測儀通過傳遞標準作為現(xiàn)場校準的共同標準。

　　臭氧發(fā)生器能在儀器的量程范圍內發(fā)生穩(wěn)定濃度的臭氧。在整個校準周期內臭氧的流量要保持均勻。

　　輸出多支管的應用不與臭氧起化學反應的惰性材料(如玻璃、聚四氟乙烯塑料等)制品。其直徑要保證與儀器連接處及其輸出口壓力降可忽略不計。系統(tǒng)必須有排出口，以保證管內的壓力為大氣壓，防止環(huán)境空氣倒流。